NANO-X由中科院、江苏省、苏州市、苏州工业园区四方投资共建，由中科院苏州纳米所承建。该装置集材料生长、器件加工、测试分析为一体，首期投入3.2亿人民币，二期计划投入3.68亿人民币。

2019年6月，NANO-X完成一期项目（小型验证装置）总验收。NANO-X一期可初步实现纳米材料表面或界面调控，突破异质材料集成难题。NANO-X二期目前正在建设中，建成后将在一期基础上进一步提升，例如将开展低维量子材料与器件的研发，探索超导量子比特的全新制备工艺等。

NANO-X的最大亮点是实现多个纳米科技实验平台的真空互联。

“材料的尺寸越小，它们的表面效应或量子效应就越明显。比如，纳米级光电器件在制备过程中的某些工艺环节一旦暴露在空气中后，可能会对材料性能产生很大影响。” 中科院苏州纳米所副研究员李坊森说。

李坊森介绍，以往国内进行纳米科技研究的平台小而分散。纳米材料在某个平台上生长出来后，需要从真空中取出，到另一个平台进行测试分析，取出过程可能使纳米材料特性受损。

NANO-X正是为了解决纳米科技研发中的这些关键共性难题而建设的。李坊森告诉科技日报记者，一方面，NANO-X通过设备的真空互联为“敏感”的纳米材料提供了必要的真空保护。

另一方面，它将材料生长、器件加工、测试分析等纳米科技研发的全链条衔接在一个平台上，有利于保证纳米材料特性的稳定，从而提升纳米器件的性能。

“目前，NANO-X一期已面向全球用户开放。希望在NANO-X上进行纳米技术研发的团队可在网上提出申请。” 李坊森介绍，目前提出申请的用户不仅有高校科研院所的研究团队，还有纳米科技领域的企业等。